微导纳米获得发明专利授权：“基片载具及镀膜设备”

         根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“基片载具及镀膜设备”，专利申请号为CN202311397417.1，授权日为2024年1月30日。

          专利摘要：本申请涉及一种基片载具及镀膜设备，载具包括：舟体；第一支撑部，安装于所述舟体在第一方向上的一端；第二支撑部，与所述第一支撑部安装于所述舟体在所述第一方向上的同一端，且所述第二支撑部与第一支撑部沿第二方向间隔布设；第三支撑部，安装于舟体在第一方向的另一端，且在第二方向上，第三支撑部位于第一支撑部和第二支撑部之间。上述载具，而通过呈品字形的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，使得第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部均能够与石英管的内壁相互接触，不存在其中一个或多个支撑部无法与石英管接触处于悬空的现象，从而使得第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部受到的压力基本一致，提高了载具的使用寿命。

         今年以来微导纳米新获得专利授权3个，较去年同期增加了50%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。